HORIBA STEC液質壓力計 返回列表頁

HORIBA STEC LF-F404M-A-EVD OMCTS 5g/min液質流量計

深圳市天鉉真空技術有限公司HORIBA STEC流量計LF-410A-EVD TEOS 4g/min液質壓力計

sell  Exchang  Repair

Debbbbbbion注入機 FILAMENT P.S電源MKS薄膜真空壓力計750C11MGA4GF

Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply

sell  Exchang  Repair Debbbbbbion注入機 FILAMENT P.S電源  

ETCH主要產品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻 新

延長了使用壽命

加熱元件的發熱越有效，需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發了一種能夠熱輸出的涂層工藝。

鎢基層具有高孔隙率的

• 鉬（熔點：2620°C）和鎢（熔點：3420°C）均是難熔金屬，高熔點使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。

• 耐腐蝕：
  鉬和鎢在各種環境中都具有耐腐蝕性，甚至在溫度下也是如此：

• 在操作過程中，反應室部件中的雜質也可能污染半導體。要保證半導體的質量和 LED 或晶體管的效率，我們的材料必須無雜質。我們保證材料純度高于 99.97%。
  
  

• 蒸氣壓低：